Forschung
Das Fachgebiet Technische Elektronik beschäftigt sich mit der Forschung und Entwicklung von Bauelementen und Verfahren in den Bereichen der Optoelektronik und MEMS Technologie (Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme). Ergänzend werden Projekte auf den Gebieten Dünnschichttechnologie, spektroskopische Sensorik und Informations-/Sicherheitstechnologie durchgeführt.
Für die Durchführung dieser Arbeiten werden Reinraumprozesse weiterentwickelt oder neue Prozesstechnologien entworfen und untersucht. Neueste Verfahren, wie z.B. höchstauflösende Templates für die Nanoimprint-Technologie, die Verwendung fokussierter Ionenstrahlen (FIB) und plasmaunterstützter Prozesse sind im INA für die Erforschung von Nanostrukturen im Einsatz.
Bei der Entwicklung von Bauelementen und Strukturen werden Entwürfe anhand numerischer Simulationen von optischen, elektrischen, mechanischen, thermischen oder quantenmechanischen Eigenschaften erstellt und weiterentwickelt.
Die umfangreiche analytische Ausstattung im Institut ermöglicht eine genaue Charakterisierung von Proben hinsichtlich prozess- oder anwendungsrelevanter Parameter.
Die Arbeitsgebiete im INA decken den Bereich von High-End Technologien (EUVL, Verbindungshalbleiter, Nanoimprint, Plasmatechnologie), bis zu Low-Cost Entwicklungen für den großflächigen Einsatz ab. Hierbei ist uns die Verknüpfung von wissenschaftlicher Forschung mit direkten Anwendungsmöglichkeiten und industriellen Kooperationen besonders wichtig.
Unsere aktuellen Forschungsprojekte
- Neuartige hochempfindliche Sensortechnologie für die Gasanalyse
- Höchstauflösende 3D NanoImprint Stempel und NanoImprint-Technologie
- Optische Sensorarrays
- Mikrospiegelanordnungen zur Tageslichtlenkung
- Weit durchstimmbare hochselektive optische Filter und Empfängerbauelemente für WDM Systeme
- Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL) für den UV-Bereich
- Sichere und verlässliche Strukturen
- Quasi-monolithische Integrationstechnologie für Hochfrequenzschaltungen
- Multischichtstrukturen für die Lithographie im extremen UV (EUVL)
- Photonische Kristalle
- Kunst mit Nanostrukturen
- Durchstimmbares optisches Sensorarray (TOSA)
- NanoImprint Pharmakon (NIP)
Unsere abgeschlossenen Forschungsprojekte
